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佛山市佛欣真空技术有限公司

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佛欣真空为您解答真空镀膜设备在实际操作中遇到的问题
发布时间:2017-07-15     阅读:1772 次     来源:网络资源

1. 真空镀膜机真空抽不上去: 抽空时间相同,而真空度偏低,这时候关闭主阀,如真空计指针很快下降,多数情况是真空室漏,应先查出漏点。如真空计指针下降很慢,多数情况是真空机组抽气能力不够,重点查找真空泵及阀门看哪里出现泄漏,或是扩散泵油污染或氧化;或前级管路密封不好,泵油不足;或泵油乳化,轴封漏油等。漏--分内漏和外漏,较大的漏点可以用火焰法,利用气流能使火焰偏离的原理,先抽上真空,比如用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻,会发现火苗向漏点偏移,则可找到漏点。查找小漏和微漏:利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏,比如丙酮或乙醇,用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇,喷到漏点时,电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心,一定要等到电离计的示值稳定了--也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了,然后再喷射。最好是反复几次,确认漏点。内漏多发生在有水冷套的设备上,查外漏没有发现疑点,但是却有以下现象:机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。

2. 真空淬火炉达不到真空度:可能是真空机组的抽气能力不够,也可能是漏率偏高,或两者都有,将真空室抽到一定的真空状态后,关闭真空阀,如果真空计数值上升很快,多数情况是真空室漏,这时应先查出漏点并且治漏。如真空计数值上升很慢,就可能是真空机组抽气能力不够,重点查找真空泵及阀门的泄漏上,或真空泵油污染、氧化,或前级管路密封不好,泵油不足,或泵油乳化,轴封漏油等,这时要更换真空泵油或直接更换真空泵。如果设备真空度在短时间内迅速下降,一般是炉门、真空阀、中间隔热门等动态密封件老化、划伤及氧化皮脱落至密封线上所致,可以通过清理更换密封件,手动开关阀门检修。如果没有问题,那就检查真空室与外界接口位置,如连接法兰、水冷电极、管道及真空管等,有时可使用丙酮检漏法观察真空度变化,仔细查找漏点。实在找不到漏点的话,就要把所有怀疑可能漏气的地方全部拆检并重新安装,或者加工实心法兰堵住后进行试验。 

  3. 真空镀膜机抽气慢:从粗抽开始检查,如果抽的时间就长,那就是滑阀泵有问题,或前面的管道有漏气,如果粗抽没问题就是扩散泵的事了,一般是清理泵腔换掉泵油。

4. 真空镀膜机维修:

一、当正在镀膜时真空度突然下降

1、蒸发源水路胶圈损环、高压电极密封处被击穿、工转动密封处胶圈损坏、烘烤引入线电极密封处被击穿、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)

 2、坩埚被打穿(更换坩埚)

3、预阀、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

4、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)

5、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)

二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空:

1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)

2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)

3、前级泵反压强太大,机械泵真空度太低(应清冼换油)

4、各动密封胶圈损坏、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)

5、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)

 6、高低预阀是否密封可靠(注油)

5. PVD镀膜技术镀出的膜层,具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系数)、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点,膜层的寿命更长;同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。PVD膜层能直接镀在不锈钢以及硬质合金上,对锌合金、铜、铁等压铸件应先进行化学电镀铬,然后才适合镀PVD

6. PVD镀膜技术的应用主要分为两大类:装饰镀和工具镀。

 


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